ÄúÏÖÔÚµÄλÖãºÖ÷Ò³ >
ÓéÀÖ°ËØÔ > À¶¹ÚµÇ½ɫËØÌ¿ºÚÔÚºÚÉ«ÓÍÄ«ÖеÄÓ¦ÓÃ
À¶¹ÚµÇ½ɫËØÌ¿ºÚÔÚºÚÉ«ÓÍÄ«ÖеÄÓ¦ÓÃ
2023-05-25 16:32
É«ËØÌ¿ºÚÊǺÚÉ«ÓÍÄ«µÄÖ÷ÒªÑÕÁÏ£¬À¶¹ÚµÇ¼ÍøÖ·ËüµÄÐÔÄܶÔÓÍÄ«ÖÊÁ¿µÄÓ°ÏìҲʮ·ÖÑÏÖØ£¬´Ó¶øÓ°ÏìÓÍÄ«¼Ó¹¤²úÆ·µÄÃÀ¹Û¡£ÆäÖÐÉ«ËØÌ¿ºÚµÄÔʼÁ£¾¶´óСºÍ·ÖÉ¢Ò²¼ä½Ó¶ÔÓÍÄ«ºÚ¶ÈºÍÉ«Ïà²úÉú×÷Óá£
¡¡¡¡Ì¿ºÚµÄÔÉúÁ£×ÓÓÉÐí¶àµþºÏ²ãÃæ×é³É¡£Ïû·Ñ¹¤ÒÕ¾öÒéÔںܴóˮƽÉϾöÒéÁËÔÉúÁ£×ÓµÄÁ£¾¶´óС¡£ÔÚ¯·¨Ïû·ÑµÄÌ¿ºÚºÚ²úÆ·ÖУ¬ÔÉúÁ£×ÓÁ£¾¶µÄ±ä»¯·¶Î§×î´ó£¬´Ó10nm~80nm²»µÈ¡£ÔÉúÁ£×ӵľùÔÈÁ£¾¶ºÍÁ£¾¶É¢²¼£¬´Ó»ù±¾ÉϾöÒéÁËÉ«ËØÌ¿ºÚÐÔÄܵIJ»Í¬£¬ÌرðÊÇ×ÅÉ«Á¦ºÍºÚ¶È¡£
¡¡¡¡¾¹ýºóÑõ»¯´¦Öúó£¬Íâ±íº¬Ñõ»ùÔ½¶à£¬PHÖµ¾Í»áÔ½µÍ£¬µ«ÊÇÌ¿ºÚÎüʪÐÔ»á´ó´óÔö¼Ó£¬¹ÌÈ»»áʹÓÍÄ«µÄ¿¹Ë®ÐÔÓë¿ÝÔïÐÔ±ä²î£¬µ«ÊÇÈ´Ê®·ÖÓÐÀûÓÚÉ«ËØÌ¿ºÚÔÚË®ÐÔÓÍÄ«ÖеķÖÉ¢¡£
¡¡¡¡¾¹ýºóÑõ»¯´¦ÖõĸßÉ«ËØÌ¿ºÚ»áʹÓÍÄ«¾ßÓнϵ͵Äð¤¶ÈºÍ½ÏºÃµÄ»î¶¯ÐÔ¡£ÕâÊÇÓÉÓÚÆäÍâ±í»¯Ñ§Îü¸½µÄº¬ÑõÁ¿¸´ºÏÎï³äÈÎÁËÍâ±í»îÐÔ¼ÁµÄ×÷Óã¬Ê¹É«ËØÌ¿ºÚµÄÍâ±í¸üÈÝÒ×±»Èóʪ¡£Ì¿ºÚÁ£×ӵijߴçС£¬¹¹³ÉµÄÑÕÁÏÍÅÍâ±í»ý¾Í»á±ÈÄâ´ó£¬
À¶¹ÚµÇ½Èóʪʱ¼ä»á±È´óÁ£×ÓÑÕÁϳ¤¡£